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RTP快速退火炉

发布时间:2017-11-15  浏览次数:4267

 


设备简介:

  快速退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),不但拥有非常快的升温速率,而且在烧结工艺运行完结后,直接将试样移动至室温下,实现物理状态下的快速降温。设备采用了内管进气、外管出气的气路结构,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的准确性。




 

 

 

 

 



配置详情

1. 双层钢结构;

2. 高纯度Al2O3纤维耐火保温材料,最大节约能源;

3. 耐火陶瓷上的高纯度氧化铝涂层可延长使用寿命;

4. 氧化铝管塞可帮助您在管内建立自定义的温度梯度;

5. 该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6。

产品型号

NBD-HR1200-110IT

电气规格

AC380V   15KW

最高温度

1100 ℃(长时间使用必须外接水冷装置)

连续温度

1000 ℃ (连续使用必须外接水冷装置)

最高加热速率

建议≤  100 ℃/S

加热区长度

200mm

炉管尺寸

Φ80*120mm

控制系统

 

1.可预存15条温度曲线,避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦;

2.实验过程更加直观,操作更加便捷;

3.NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,非线性式样温度修正;

4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。

温度精度

+/- 1 ℃

加热元件

 

红外灯管加热

密封系统

 

 

 

真空度:≤5Pa(机械泵)

压力测量与监控

 

采用数显真空计,可使设备炉管内的真空度显示更加直观,实验结果更加准确。

净重

90KG

设备使用注意事项

    1. 设备炉膛温度≥300℃时,移动炉膛后,禁止触碰原炉膛所在位置的石英管,避免受到伤害;

2. 设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;

3. 设备使用时,炉管内压力不得超过0.125MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;

4. 真空下使用时,设备使用温度不得超过800℃。

   5. 供气钢瓶内部气压较高,向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在选购试验用小压力减压阀,减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会更加精确安全。

   6.当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;

   7.高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃

   8.加热的实验时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若绝对压力表读数大于0.15MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂等)

服务支持

1年质保,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如炉管和O形圈等) 


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